不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往须由一套真空机组来完成，即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。

 1、泵都有起始工作压强，传统的高真空泵都在几Pa的范围。因此前级泵须预抽到这一压力主泵才能开始工作。增加一台中真空泵与前级低真空泵配合形成真空泵机组，可在较短的时间达到主泵可以工作的压力，这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。

 2、高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。而当前级泵达到这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。在高低真空泵之间再连接一台中真空泵，便可起到承上启下的作用，流量连续，而且各泵皆可工作在正常状态。

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